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采用磁控型电极，最大限度地减轻对样品的损坏。
特点：
采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件
可处理较厚或较大的样品(选配件)
记忆功能可存储常用加工条件
规格：
*1： 喷镀速率仅供参考
*2
： 主机内不包括靶材。请从选项中选择(铂，铂-钯，金，金-钯)。
